UHP ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ્સ આટલી મહત્વપૂર્ણ કેમ છે?
સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં - એચિંગ, સીવીડી, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન અને લિથોગ્રાફી જેવી પ્રક્રિયાઓ - પ્રક્રિયા વાયુઓ અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા હોવી જોઈએ, સામાન્ય રીતે 99.9999% (6N) અથવા તો 99.99999% (7N). ppb (પાર્ટ્સ પર બિલિયન) અથવા ppt (પાર્ટ્સ પર ટ્રિલિયન) સ્તરે દૂષકોને ટ્રેસ કરવા - જેમ કે ભેજ અથવા ઓક્સિજન - ગેટ ઓક્સાઇડ પાતળા થવા, ધાતુના ખાલી જગ્યાઓ અથવા વેફર પર શોર્ટ સર્કિટ જેવી ઘાતક ખામીઓનું કારણ બની શકે છે, જે સંભવિત રીતે સમગ્ર લોટને સ્ક્રેપ કરી શકે છે.
તેથી, UHP ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમનું ધ્યેય શુદ્ધતામાં કોઈપણ ઘટાડા વિના, સ્ત્રોતમાંથી પ્રક્રિયા સાધન સુધી વાયુઓનું પરિવહન કરવાનું છે, દરેક બિંદુએ દૂષણ અને લિકેજ બંનેને અટકાવે છે.
EP ટ્યુબિંગ UHP સિસ્ટમ્સની કરોડરજ્જુ કેમ બને છે?
EP (ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ) ટ્યુબિંગ સ્ટેનલેસ સ્ટીલમાંથી બનાવવામાં આવે છે જે ઇલેક્ટ્રોકેમિકલ પોલિશિંગ પ્રક્રિયામાંથી પસાર થાય છે, જેનાથી અરીસા જેવી આંતરિક સપાટી બને છે. આ તેને UHP ગેસ વિતરણ માટે અનિવાર્ય "ધમની" બનાવે છે.
અંતિમ સ્વચ્છતા - મૂળ સ્થાને નિવારણ
EP પ્રોસેસિંગ આંતરિક સપાટીની ખરબચડી (Ra) ને 0.13 µm - 0.25 µm અથવા તેનાથી પણ ઓછી ઘટાડે છે. આ અતિ-સરળ પૂર્ણાહુતિ સૂક્ષ્મ તિરાડો અને શોષણ સ્થળોને દૂર કરે છે, જેનાથી કણો, ધાતુના આયનો અથવા ભેજને વળગી રહેવા માટે કોઈ જગ્યા રહેતી નથી.
ઉન્નત કાટ પ્રતિકાર - શુદ્ધતા જાળવણી
ઇલેક્ટ્રોપોલિશિંગ પગલું સપાટીની અશુદ્ધિઓને દૂર કરે છે અને ક્રોમ-ઓક્સાઇડ સમૃદ્ધ નિષ્ક્રિય સ્તર બનાવે છે, જે Cl₂, CF₄ અને HCl જેવા કાટ લાગતા વાયુઓ સામે પ્રતિકારમાં નોંધપાત્ર સુધારો કરે છે. આ પાઇપ દિવાલના કાટને અટકાવે છે જે કણો અથવા ગેસ દૂષણ પેદા કરી શકે છે.
સુધારેલ પ્રવાહ કાર્યક્ષમતા અને ઝડપી શુદ્ધિકરણ
સુંવાળી આંતરિક દિવાલ પ્રવાહ પ્રતિકાર ઘટાડે છે અને સિસ્ટમ શુદ્ધિકરણ અને ગેસ અવેજીને વેગ આપે છે. ઝડપી ગેસ સ્વિચિંગની જરૂર હોય તેવી પ્રક્રિયાઓમાં, આ ચક્ર સમય ઘટાડે છે અને ફેબ થ્રુપુટને વધારે છે.
પ્રીમિયમ મટિરિયલ - "ક્રાઉન" સ્ટાન્ડર્ડ
ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળા EP ટ્યુબિંગ 316L VIM-VAR (વેક્યુમ ઇન્ડક્શન મેલ્ટિંગ + વેક્યુમ આર્ક રિમેલ્ટિંગ) સ્ટેનલેસ સ્ટીલમાંથી બનાવવામાં આવે છે. આ ડબલ-મેલ્ટ પ્રક્રિયા બેઝ મેટલની અત્યંત બલ્ક શુદ્ધતા સુનિશ્ચિત કરે છે, જે EP ના અંતિમ પ્રદર્શનને પ્રાપ્ત કરવા માટે મૂળભૂત પૂર્વશરત છે.
મુખ્ય એપ્લિકેશન દૃશ્યો
•
મુખ્ય પ્રક્રિયાઓ- એચિંગ, સીવીડી, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન અને લિથોગ્રાફી માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા પ્રતિક્રિયાશીલ વાયુઓની ડિલિવરી.
•
વિશેષ વાયુઓ- SiH₄, PH₃, Cl₂, અને BCl₃ જેવા જ્વલનશીલ, ઝેરી અથવા કાટ લાગતા વાયુઓનું સલામત સંચાલન. અત્યંત જોખમી વાયુઓ માટે, ડબલ-કન્ટેનમેન્ટ EP ટ્યુબિંગનો ઉપયોગ ઘણીવાર થાય છે (ગેસ માટે આંતરિક ટ્યુબ, લીક મોનિટરિંગ માટે બાહ્ય જેકેટ ખાલી કરવામાં આવે છે અથવા નાઇટ્રોજનથી શુદ્ધ કરવામાં આવે છે).
•
ક્રિટિકલ હાર્ડવેર- ગેસ ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પેનલ્સ (VMBs), ગેસ કેબિનેટ અને પ્રોસેસ ટૂલ હૂક-અપ્સમાં વપરાય છે જ્યાં આંતરિક સપાટીઓને અતિ-સ્વચ્છ કરવી ફરજિયાત છે.
ટ્યુબિંગથી આગળ: સંપૂર્ણ UHP સિસ્ટમ માટે અન્ય આવશ્યકતાઓ
સંપૂર્ણ અખંડિતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે, સિસ્ટમમાં આનો પણ સમાવેશ થવો જોઈએ:
•
સંપૂર્ણપણે સ્વચાલિત ઓર્બિટલ વેલ્ડીંગ- ISO વર્ગ 5 (વર્ગ 100) અથવા વધુ સારા સ્વચ્છ રૂમમાં કરવામાં આવે છે, જે મેન્યુઅલ વેલ્ડીંગ ભિન્નતા અને દૂષણના જોખમોને દૂર કરે છે.
•
બધા મેટલ ફેસ સીલ ફિટિંગ્સ- જેમ કે VCR® અથવા W-સીલ પ્રકારો, જે શૂન્ય-લીક કામગીરી માટે મેટલ ગાસ્કેટ પર આધાર રાખે છે.
•
સખત સફાઈ અને પેકેજિંગ- EP ટ્યુબને સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા પાણીથી સાફ કરવામાં આવે છે, સૂકવવામાં આવે છે અને નાઇટ્રોજનથી શુદ્ધ કરવામાં આવે છે અને પછી તેને ક્લિનરૂમ પેકેજિંગમાં ડબલ-બેગ કરવામાં આવે છે જેથી ઇન્સ્ટોલેશન સુધી તેમની "જેમ-શીપેલ" શુદ્ધતા જાળવી શકાય.
EP ટ્યુબિંગ ફક્ત પાઇપ નથી - તે સેમિકન્ડક્ટર ગેસ ડિલિવરીમાં સંરક્ષણની પ્રથમ હરોળ છે. તેની અતિ-સરળ સપાટી, શ્રેષ્ઠ કાટ પ્રતિકાર અને પ્રીમિયમ સામગ્રી શુદ્ધતા વેફર ઉપજ, ઉપકરણ વિશ્વસનીયતા અને એકંદર ફેબ નફાકારકતાને સીધી અસર કરે છે. સબ-5nm નોડ્સ અને વધુ કડક ખામીવાળા બજેટની દુનિયામાં, EP ટ્યુબિંગ વૈકલ્પિક નથી - તે પાયાનું છે.
પોસ્ટ સમય: ઓગસ્ટ-05-2026