સેમિકન્ડક્ટર્સમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપિંગનું મહત્વ

As સેમિકન્ડક્ટરઅને માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક ટેકનોલોજીઓ ઉચ્ચ પ્રદર્શન અને ઉચ્ચ એકીકરણ તરફ વિકાસ પામે છે, ઇલેક્ટ્રોનિક ખાસ વાયુઓની શુદ્ધતા પર ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ મૂકવામાં આવે છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપિંગ ટેકનોલોજી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમનો એક મહત્વપૂર્ણ ભાગ છે. તે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા વાયુઓ પહોંચાડવા માટેની મુખ્ય તકનીક છે જે ગુણવત્તા જાળવી રાખીને ગેસ ઉપયોગ બિંદુઓ સુધી જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પાઇપિંગ ટેકનોલોજીમાં સિસ્ટમની યોગ્ય ડિઝાઇન, પાઇપ ફિટિંગ અને સહાયક સામગ્રીની પસંદગી, બાંધકામ અને સ્થાપન અને પરીક્ષણનો સમાવેશ થાય છે.

01 ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપિંગનો સામાન્ય ખ્યાલ

બધા ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સ્વચ્છતા વાયુઓને પાઇપલાઇન દ્વારા ટર્મિનલ ગેસ પોઇન્ટ પર પરિવહન કરવાની જરૂર છે. ગેસ માટેની પ્રક્રિયા ગુણવત્તા આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરવા માટે, જ્યારે ગેસ નિકાસ સૂચકાંક ચોક્કસ હોય, ત્યારે પાઇપિંગ સિસ્ટમની સામગ્રીની પસંદગી અને બાંધકામ ગુણવત્તા પર ધ્યાન આપવું વધુ જરૂરી છે. ગેસ ઉત્પાદન અથવા શુદ્ધિકરણ સાધનોની ચોકસાઈ ઉપરાંત, તે પાઇપલાઇન સિસ્ટમના ઘણા પરિબળોથી મોટાભાગે પ્રભાવિત થાય છે. તેથી, પાઇપની પસંદગીમાં સંબંધિત શુદ્ધિકરણ ઉદ્યોગ સિદ્ધાંતોનું પાલન કરવાની અને રેખાંકનોમાં પાઇપની સામગ્રીને ચિહ્નિત કરવાની જરૂર છે.

02 ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પાઇપલાઇન્સનું મહત્વ

ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા પાઇપલાઇન્સનું મહત્વ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ સ્મેલ્ટિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન, દરેક ટન લગભગ 200 ગ્રામ ગેસ શોષી શકે છે. સ્ટેનલેસ સ્ટીલની પ્રક્રિયા કર્યા પછી, તેની સપાટી પર વિવિધ પ્રદૂષકો જ નહીં, પરંતુ તેની ધાતુની જાળીમાં ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ પણ શોષાય છે. જ્યારે પાઇપલાઇનમાંથી હવાનો પ્રવાહ પસાર થાય છે, ત્યારે ધાતુ દ્વારા શોષાયેલ ગેસનો ભાગ ફરીથી હવામાં પ્રવેશ કરશે અને શુદ્ધ ગેસને પ્રદૂષિત કરશે.

જ્યારે પાઇપમાં હવાનો પ્રવાહ અવ્યવસ્થિત હોય છે, ત્યારે પાઇપ પસાર થતા ગેસ પર દબાણ શોષણ બનાવે છે. જ્યારે હવાનો પ્રવાહ પસાર થવાનું બંધ કરે છે, ત્યારે પાઇપ દ્વારા શોષાયેલ ગેસ દબાણ ઘટાડા વિશ્લેષણ બનાવે છે, અને વિશ્લેષિત ગેસ પણ પાઇપમાં શુદ્ધ ગેસમાં અશુદ્ધિ તરીકે પ્રવેશ કરે છે.

તે જ સમયે, શોષણ અને વિશ્લેષણ ચક્ર પાઇપની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુને ચોક્કસ માત્રામાં પાવડર ઉત્પન્ન કરશે. આ ધાતુના ધૂળના કણ પાઇપમાં રહેલા શુદ્ધ ગેસને પણ પ્રદૂષિત કરે છે. પાઇપની આ લાક્ષણિકતા ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. પરિવહન ગેસની શુદ્ધતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે, પાઇપની આંતરિક સપાટીમાં અત્યંત ઉચ્ચ સરળતા હોવી જરૂરી છે, પરંતુ તેમાં ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર પણ હોવો જોઈએ.

જ્યારે ગેસમાં મજબૂત કાટ લાગવાના ગુણધર્મો હોય છે, ત્યારે પાઇપિંગ માટે કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે. નહિંતર, કાટને કારણે પાઇપની આંતરિક સપાટી પર કાટ લાગવાના ફોલ્લીઓ દેખાશે. ગંભીર કિસ્સાઓમાં, ધાતુના મોટા ટુકડાઓ છાલ થઈ જશે અથવા છિદ્રિત પણ થઈ જશે, જેનાથી પરિવહન કરવામાં આવતા શુદ્ધ ગેસ દૂષિત થશે.

03પાઈપ સામગ્રી

પાઇપની સામગ્રીની પસંદગી ઉપયોગની જરૂરિયાતો અનુસાર કરવી જરૂરી છે. પાઇપની ગુણવત્તા સામાન્ય રીતે પાઇપની આંતરિક સપાટીની ખરબચડીતા અનુસાર માપવામાં આવે છે. ખરબચડીતા જેટલી ઓછી હશે, તેમાં કણો વહન કરવાની શક્યતા ઓછી હશે. સામાન્ય રીતે ત્રણ પ્રકારોમાં વિભાજિત:

એક છેEP ગ્રેડ 316L પાઇપ, જેને ઇલેક્ટ્રોલાઇટિકલી પોલિશ્ડ કરવામાં આવ્યું છે (ઇલેક્ટ્રો-પોલિશ). તે કાટ-પ્રતિરોધક છે અને સપાટીની ખરબચડી ઓછી છે. Rmax (મહત્તમ ટોચથી ખીણની ઊંચાઈ) લગભગ 0.3μm અથવા તેનાથી ઓછું છે. તેમાં સૌથી વધુ સપાટતા છે અને સૂક્ષ્મ-એડી પ્રવાહો બનાવવાનું સરળ નથી. દૂષિત કણો દૂર કરો. પ્રક્રિયામાં વપરાતો પ્રતિક્રિયા ગેસ આ સ્તરે પાઇપ થવો જોઈએ.

એક છેબીએ ગ્રેડ 316Lપાઇપ, જેને બ્રાઇટ એનીલ દ્વારા ટ્રીટ કરવામાં આવી છે અને તેનો ઉપયોગ ઘણીવાર એવા વાયુઓ માટે થાય છે જે ચિપના સંપર્કમાં હોય છે પરંતુ પ્રક્રિયા પ્રતિક્રિયામાં ભાગ લેતા નથી, જેમ કે GN2 અને CDA. એક AP પાઇપ (એનીલિંગ અને પિકિંગ) છે, જે ખાસ ટ્રીટ કરવામાં આવતી નથી અને સામાન્ય રીતે બાહ્ય પાઇપના ડબલ સેટ માટે વપરાય છે જેનો ઉપયોગ ગેસ સપ્લાય લાઇન તરીકે થતો નથી.

04 પાઇપલાઇન બાંધકામ

પાઇપ મુખની પ્રક્રિયા આ બાંધકામ તકનીકના મુખ્ય મુદ્દાઓમાંનો એક છે. પાઇપલાઇન કાપવા અને પ્રિફેબ્રિકેશન સ્વચ્છ વાતાવરણમાં કરવામાં આવે છે, અને તે જ સમયે, કાપતા પહેલા પાઇપલાઇનની સપાટી પર કોઈ હાનિકારક નિશાન અથવા નુકસાન ન હોય તેની ખાતરી કરવામાં આવે છે. પાઇપલાઇન ખોલતા પહેલા પાઇપલાઇનમાં નાઇટ્રોજન ફ્લશિંગ માટેની તૈયારીઓ કરવી જોઈએ. સૈદ્ધાંતિક રીતે, વેલ્ડીંગનો ઉપયોગ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સ્વચ્છતા ગેસ ટ્રાન્સમિશન અને વિતરણ પાઇપલાઇન્સને મોટા પ્રવાહ સાથે જોડવા માટે થાય છે, પરંતુ સીધા વેલ્ડીંગની મંજૂરી નથી. કેસીંગ સાંધાનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અને વપરાયેલી પાઇપ સામગ્રીમાં વેલ્ડીંગ દરમિયાન માળખામાં કોઈ ફેરફાર ન થવો જરૂરી છે. જો ખૂબ વધારે કાર્બન સામગ્રીવાળી સામગ્રી વેલ્ડ કરવામાં આવે છે, તો વેલ્ડીંગ ભાગની હવા અભેદ્યતા પાઇપની અંદર અને બહાર ગેસને એકબીજામાં પ્રવેશવા માટેનું કારણ બનશે, જે કન્વેઇંગ ગેસની શુદ્ધતા, શુષ્કતા અને સ્વચ્છતાને નષ્ટ કરશે, જે ગંભીર પરિણામો તરફ દોરી જશે અને ઉત્પાદન ગુણવત્તાને અસર કરશે.

સારાંશમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ અને ખાસ ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપલાઇન્સ માટે, ખાસ સારવાર કરાયેલ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે, જે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પાઇપલાઇન સિસ્ટમ (પાઇપલાઇન્સ, પાઇપ ફિટિંગ, વાલ્વ, VMB, VMP સહિત) ને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ વિતરણમાં મહત્વપૂર્ણ મિશન બનાવે છે.