સેમિકન્ડક્ટર માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપિંગનું મહત્વ

As સેમિકન્ડક્ટરઅને માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક તકનીકો ઉચ્ચ પ્રદર્શન અને ઉચ્ચ એકીકરણ તરફ વિકસિત થાય છે, ઇલેક્ટ્રોનિક વિશિષ્ટ વાયુઓની શુદ્ધતા પર ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ મૂકવામાં આવે છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ પાઈપિંગ ટેકનોલોજી ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમનો એક મહત્વપૂર્ણ ભાગ છે. તે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા વાયુઓ પહોંચાડવા માટેની ચાવીરૂપ તકનીક છે જે હજુ પણ ગુણવત્તાયુક્ત ગુણવત્તા જાળવીને ગેસ વપરાશના બિંદુઓની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પાઇપિંગ તકનીકમાં સિસ્ટમની યોગ્ય ડિઝાઇન, પાઇપ ફિટિંગ અને સહાયક સામગ્રીની પસંદગી, બાંધકામ અને ઇન્સ્ટોલેશન અને પરીક્ષણનો સમાવેશ થાય છે.

01 ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપિંગનો સામાન્ય ખ્યાલ

તમામ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સ્વચ્છતાવાળા વાયુઓને પાઇપલાઇન દ્વારા ટર્મિનલ ગેસ પોઈન્ટ સુધી પહોંચાડવાની જરૂર છે. ગેસ માટેની પ્રક્રિયાની ગુણવત્તાની જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે, જ્યારે ગેસ નિકાસ ઇન્ડેક્સ ચોક્કસ હોય, ત્યારે પાઇપિંગ સિસ્ટમની સામગ્રીની પસંદગી અને બાંધકામની ગુણવત્તા પર ધ્યાન આપવું વધુ જરૂરી છે. ગેસ ઉત્પાદન અથવા શુદ્ધિકરણ સાધનોની ચોકસાઈ ઉપરાંત, તે પાઇપલાઇન સિસ્ટમના ઘણા પરિબળો દ્વારા મોટાભાગે પ્રભાવિત થાય છે. તેથી, પાઈપોની પસંદગી સંબંધિત શુદ્ધિકરણ ઉદ્યોગના સિદ્ધાંતોનું પાલન કરવાની અને રેખાંકનોમાં પાઈપોની સામગ્રીને ચિહ્નિત કરવાની જરૂર છે.

02 ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળી પાઇપલાઇન્સનું મહત્વ

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પરિવહનમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતાની પાઇપલાઇન્સનું મહત્વ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ સ્મેલ્ટિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન, દરેક ટન લગભગ 200 ગ્રામ ગેસ શોષી શકે છે. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પર પ્રક્રિયા કર્યા પછી, તેની સપાટી પર માત્ર વિવિધ પ્રદૂષકો જ અટકી જતા નથી, પરંતુ તેની ધાતુની જાળીમાં ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ પણ શોષાય છે. જ્યારે પાઇપલાઇનમાંથી હવાનો પ્રવાહ પસાર થાય છે, ત્યારે ધાતુ દ્વારા શોષાયેલ ગેસનો ભાગ હવાના પ્રવાહમાં ફરીથી પ્રવેશ કરશે અને શુદ્ધ ગેસને પ્રદૂષિત કરશે.

જ્યારે પાઇપમાં હવાનો પ્રવાહ અવ્યવસ્થિત હોય છે, ત્યારે પાઇપ પસાર થતા ગેસ પર દબાણ શોષણ બનાવે છે. જ્યારે એરફ્લો પસાર થવાનું બંધ થાય છે, ત્યારે પાઇપ દ્વારા શોષાયેલ ગેસ દબાણ ઘટાડવાનું વિશ્લેષણ બનાવે છે, અને વિશ્લેષણ કરેલ ગેસ પણ અશુદ્ધતા તરીકે પાઇપમાં શુદ્ધ ગેસમાં પ્રવેશ કરે છે.

તે જ સમયે, શોષણ અને વિશ્લેષણ ચક્ર પાઇપની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુને ચોક્કસ માત્રામાં પાવડર ઉત્પન્ન કરવા માટેનું કારણ બનશે. આ ધાતુની ધૂળના કણ પાઇપમાં રહેલા શુદ્ધ ગેસને પણ પ્રદૂષિત કરે છે. પાઇપની આ લાક્ષણિકતા ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. પરિવહન કરેલ ગેસની શુદ્ધતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે, માત્ર તે જરૂરી નથી કે પાઇપની આંતરિક સપાટી અત્યંત ઊંચી સરળતા ધરાવે છે, પરંતુ તે ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર પણ હોવી જોઈએ.

જ્યારે ગેસ મજબૂત કાટરોધક ગુણધર્મો ધરાવે છે, ત્યારે કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ પાઈપિંગ માટે થવો જોઈએ. નહિંતર, કાટને કારણે પાઇપની આંતરિક સપાટી પર કાટના ફોલ્લીઓ દેખાશે. ગંભીર કિસ્સાઓમાં, ધાતુના મોટા ટુકડા છાલ અથવા તો છિદ્રિત થઈ જાય છે, જેનાથી પરિવહન થઈ રહેલા શુદ્ધ ગેસને દૂષિત કરે છે.

03 પાઇપ સામગ્રી

ઉપયોગની જરૂરિયાતો અનુસાર પાઇપની સામગ્રીની પસંદગી કરવાની જરૂર છે. પાઇપની ગુણવત્તા સામાન્ય રીતે પાઇપની આંતરિક સપાટીની રફનેસ અનુસાર માપવામાં આવે છે. ખરબચડાપણું જેટલું ઓછું છે, તે કણો વહન કરવાની શક્યતા ઓછી છે. સામાન્ય રીતે ત્રણ પ્રકારોમાં વિભાજિત:

એક છેEP ગ્રેડ 316L પાઇપ, જે ઇલેક્ટ્રોલાઇટિકલી પોલિશ (ઇલેક્ટ્રો-પોલિશ) કરવામાં આવી છે. તે કાટ-પ્રતિરોધક છે અને તેની સપાટીની ખરબચડી ઓછી છે. Rmax (મહત્તમ શિખરથી ખીણની ઊંચાઈ) લગભગ 0.3μm અથવા તેનાથી ઓછી છે. તે સૌથી વધુ સપાટતા ધરાવે છે અને માઇક્રો-એડી કરંટ બનાવવું સરળ નથી. દૂષિત કણો દૂર કરો. પ્રક્રિયામાં વપરાતો પ્રતિક્રિયા ગેસ આ સ્તરે પાઈપ થવો જોઈએ.

એક છે એBA ગ્રેડ 316Lપાઇપ, જેની સારવાર બ્રાઇટ એનિલ દ્વારા કરવામાં આવી છે અને તેનો ઉપયોગ ઘણીવાર એવા વાયુઓ માટે થાય છે જે ચિપના સંપર્કમાં હોય છે પરંતુ પ્રક્રિયા પ્રતિક્રિયામાં ભાગ લેતા નથી, જેમ કે GN2 અને CDA. એક એપી પાઇપ (એનીલિંગ અને પીકિંગ) છે, જેની ખાસ સારવાર કરવામાં આવતી નથી અને સામાન્ય રીતે તેનો ઉપયોગ બાહ્ય પાઇપના ડબલ સેટ માટે થાય છે જેનો ઉપયોગ ગેસ સપ્લાય લાઇન તરીકે થતો નથી.

04 પાઇપલાઇન બાંધકામ

પાઇપના મુખની પ્રક્રિયા એ આ બાંધકામ તકનીકના મુખ્ય મુદ્દાઓમાંનું એક છે. પાઇપલાઇન કટિંગ અને પ્રિફેબ્રિકેશન સ્વચ્છ વાતાવરણમાં હાથ ધરવામાં આવે છે, અને તે જ સમયે, તે સુનિશ્ચિત કરવામાં આવે છે કે કાપતા પહેલા પાઇપલાઇનની સપાટી પર કોઈ હાનિકારક નિશાનો અથવા નુકસાન નથી. પાઇપલાઇનમાં નાઇટ્રોજન ફ્લશિંગ માટેની તૈયારીઓ પાઇપલાઇન ખોલતા પહેલા કરવી જોઈએ. સૈદ્ધાંતિક રીતે, વેલ્ડીંગનો ઉપયોગ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ-સ્વચ્છતા ગેસ ટ્રાન્સમિશન અને વિતરણ પાઇપલાઇન્સને મોટા પ્રવાહ સાથે જોડવા માટે થાય છે, પરંતુ સીધા વેલ્ડીંગને મંજૂરી નથી. કેસીંગ સાંધાનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અને ઉપયોગમાં લેવાતી પાઇપ સામગ્રીને વેલ્ડીંગ દરમિયાન બંધારણમાં કોઈ ફેરફાર ન કરવો જરૂરી છે. જો ખૂબ વધારે કાર્બન સામગ્રીવાળી સામગ્રીને વેલ્ડિંગ કરવામાં આવે છે, તો વેલ્ડીંગના ભાગની હવાની અભેદ્યતા પાઇપની અંદર અને બહારના ગેસને એકબીજામાં પ્રવેશવા માટેનું કારણ બને છે, જે વહન કરતા ગેસની શુદ્ધતા, શુષ્કતા અને સ્વચ્છતાનો નાશ કરે છે, જે ગંભીર પરિણામો તરફ દોરી જાય છે. અને ઉત્પાદન ગુણવત્તાને અસર કરે છે.

સારાંશમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસ અને વિશેષ ગેસ ટ્રાન્સમિશન પાઇપલાઇન્સ માટે, ખાસ સારવાર કરેલ ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે, જે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી પાઇપલાઇન સિસ્ટમ (પાઈપલાઈન, પાઈપ ફીટીંગ્સ, વાલ્વ, VMB, VMP સહિત) પર કબજો કરે છે. ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ વિતરણમાં મહત્વપૂર્ણ મિશન.