1. બલ્ક ગેસ સિસ્ટમ વ્યાખ્યા:
નિષ્ક્રિય વાયુઓનો સંગ્રહ અને દબાણ નિયંત્રણ ગેસના પ્રકારો: લાક્ષણિક નિષ્ક્રિય વાયુઓ (નાઇટ્રોજન, આર્ગોન, સંકુચિત હવા, વગેરે)
પાઇપલાઇનનું કદ: 1/4 (મોનિટરિંગ પાઇપલાઇન) થી 12-ઇંચની મુખ્ય પાઇપલાઇન સુધી
સિસ્ટમના મુખ્ય ઉત્પાદનો છે: ડાયાફ્રેમ વાલ્વ/બેલોઝ વાલ્વ/બોલ વાલ્વ, હાઇ-પ્યુરિટી કનેક્ટર (VCR, વેલ્ડીંગ ફોર્મ), ફેરુલ કનેક્ટર, પ્રેશર રેગ્યુલેટીંગ વાલ્વ, પ્રેશર ગેજ વગેરે.
હાલમાં, નવી સિસ્ટમમાં બલ્ક સ્પેશિયલ ગેસ સિસ્ટમનો પણ સમાવેશ થાય છે, જે સંગ્રહ અને પરિવહન માટે સ્થિર ગેસ સિલિન્ડર અથવા ટાંકી ટ્રકનો ઉપયોગ કરે છે.
2. શુદ્ધિકરણ સિસ્ટમ વ્યાખ્યા:
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે બલ્ક ગેસમાંથી અશુદ્ધિઓ દૂર કરવી
3. ગેસ કેબિનેટની વ્યાખ્યા:
ખાસ ગેસ સ્ત્રોતો (ઝેરી, જ્વલનશીલ, પ્રતિક્રિયાશીલ, કાટ લાગતા વાયુઓ) માટે દબાણ નિયંત્રણ અને પ્રવાહનું નિરીક્ષણ પૂરું પાડો અને ગેસ સિલિન્ડરોને બદલવાની ક્ષમતા ધરાવો.
સ્થાન: ખાસ વાયુઓના સંગ્રહ માટે સબ-ફેબ ફ્લોર અથવા નીચેના ફ્લોર પર સ્થિત છે સ્ત્રોત: NF3, SF6, WF6, વગેરે.
પાઇપલાઇનનું કદ: આંતરિક ગેસ પાઇપલાઇન, પ્રક્રિયા પાઇપલાઇન માટે સામાન્ય રીતે 1/4 ઇંચ, 1/4-3/8 ઇંચ મુખ્યત્વે ઉચ્ચ શુદ્ધતાની નાઇટ્રોજન પર્જ પાઇપલાઇન માટે.
મુખ્ય ઉત્પાદનો: ઉચ્ચ શુદ્ધતા ડાયાફ્રેમ વાલ્વ, ચેક વાલ્વ, પ્રેશર ગેજ, પ્રેશર ગેજ, ઉચ્ચ શુદ્ધતા કનેક્ટર્સ (VCR, વેલ્ડીંગ ફોર્મ) આ ગેસ કેબિનેટ્સ મૂળભૂત રીતે સિલિન્ડરો માટે સ્વચાલિત સ્વિચિંગ ક્ષમતાઓ ધરાવે છે જેથી સતત ગેસ સપ્લાય અને સિલિન્ડરોની સલામત બદલી થાય.
4. વિતરણ વ્યાખ્યા:
ગેસ સ્ત્રોતને ગેસ કલેક્શન કોઇલ સાથે જોડવું
લાઇનનું કદ: ચિપ ફેક્ટરીમાં, બલ્ક ગેસ વિતરણ પાઇપલાઇનનું કદ સામાન્ય રીતે 1/2 ઇંચથી 2 ઇંચ સુધીની હોય છે.
કનેક્શન ફોર્મ: ખાસ ગેસ પાઈપલાઈન સામાન્ય રીતે વેલ્ડીંગ દ્વારા જોડાયેલ હોય છે, કોઈપણ યાંત્રિક કનેક્શન અથવા અન્ય ફરતા ભાગો વગર, મુખ્યત્વે કારણ કે વેલ્ડીંગ કનેક્શન મજબૂત સીલિંગ વિશ્વસનીયતા ધરાવે છે.
એક ચિપ ફેક્ટરીમાં, ગેસ ટ્રાન્સમિટ કરવા માટે સેંકડો કિલોમીટરની ટ્યુબિંગ જોડાયેલી હોય છે, જે મૂળભૂત રીતે લગભગ 20 ફૂટ લાંબી હોય છે અને એકસાથે વેલ્ડેડ હોય છે. કેટલાક ટ્યુબિંગ બેન્ડ્સ અને ટ્યુબ્યુલર વેલ્ડિંગ જોડાણો પણ ખૂબ સામાન્ય છે.
5. મલ્ટી-ફંક્શન વાલ્વ બોક્સ (વાલ્વ મેનીફોલ્ડ બોક્સ, VMB) વ્યાખ્યા:
તે ગેસ સ્ત્રોતમાંથી વિવિધ સાધનોના અંત સુધી વિશિષ્ટ વાયુઓનું વિતરણ કરવાનું છે.
આંતરિક પાઇપલાઇનનું કદ: 1/4 ઇંચ પ્રક્રિયા પાઇપલાઇન, અને 1/4 - 3/8 ઇંચ શુદ્ધ પાઇપલાઇન. સિસ્ટમ મેન્યુઅલ વાલ્વ સાથે એક્ટ્યુએટેડ વાલ્વ અથવા ઓછી કિંમતની પરિસ્થિતિઓની જરૂરિયાત માટે કમ્પ્યુટર નિયંત્રણનો ઉપયોગ કરી શકે છે.
સિસ્ટમ ઉત્પાદનો: ઉચ્ચ શુદ્ધતાના ડાયાફ્રેમ વાલ્વ/બેલો વાલ્વ, ચેક વાલ્વ, ઉચ્ચ શુદ્ધતાના સાંધા (વીસીઆર, માઇક્રો-વેલ્ડીંગ ફોર્મ), દબાણ નિયમનકારી વાલ્વ, દબાણ માપક અને દબાણ માપક, વગેરે. કેટલાક નિષ્ક્રિય વાયુઓના વિતરણ માટે, વાલ્વ મેનીફોલ્ડ પેનલ - VMP (મલ્ટી-ફંક્શન વાલ્વ ડિસ્ક)નો મુખ્યત્વે ઉપયોગ થાય છે, જેમાં ખુલ્લી ગેસ ડિસ્ક સપાટી હોય છે અને બંધ જગ્યા ડિઝાઇન અને વધારાના નાઇટ્રોજન શુદ્ધિકરણની જરૂર નથી.
6. ગૌણ વાલ્વ પ્લેટ/બોક્સ (ટૂલ હૂકઅપ પેનલ) વ્યાખ્યા:
સેમિકન્ડક્ટર સાધનો દ્વારા જરૂરી ગેસને ગેસ સ્ત્રોતથી સાધનસામગ્રીના અંત સુધી કનેક્ટ કરો અને અનુરૂપ દબાણ નિયમન પ્રદાન કરો. આ પેનલ એ ગેસ કંટ્રોલ સિસ્ટમ છે જે VMB (મલ્ટી-ફંક્શન વાલ્વ બૉક્સ) કરતાં સાધનોના અંતની નજીક છે.
ગેસ પાઇપલાઇનનું કદ: 1/4 - 3/8 ઇંચ
પ્રવાહી પાઇપલાઇનનું કદ: 1/2 - 1 ઇંચ
ડિસ્ચાર્જ પાઇપલાઇનનું કદ: 1/2 - 1 ઇંચ
મુખ્ય ઉત્પાદનો: ડાયાફ્રેમ વાલ્વ/બેલો વાલ્વ, વન-વે વાલ્વ, પ્રેશર રેગ્યુલેટીંગ વાલ્વ, પ્રેશર ગેજ, પ્રેશર ગેજ, હાઇ-પ્યુરિટી જોઇન્ટ (વીસીઆર, માઇક્રો-વેલ્ડીંગ), ફેરુલ જોઇન્ટ, બોલ વાલ્વ, હોસ વગેરે.
પોસ્ટ સમય: નવેમ્બર-22-2024