ઇલેક્ટ્રોનિક એન્જિનિયરિંગ સિસ્ટમ્સમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સનો ઉપયોગ

909 પ્રોજેક્ટ વેરી લાર્જ સ્કેલ ઈન્ટીગ્રેટેડ સર્કિટ ફેક્ટરી એ મારા દેશના ઈલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગનો નવમી પંચવર્ષીય યોજના દરમિયાન 0.18 માઈક્રોનની લાઈનની પહોળાઈ અને 200 મીમીના વ્યાસ સાથે ચિપ્સ બનાવવાનો મુખ્ય બાંધકામ પ્રોજેક્ટ છે.

ખૂબ મોટા પાયે સંકલિત સર્કિટની ઉત્પાદન તકનીકમાં માત્ર માઇક્રો-મશીનિંગ જેવી ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળી તકનીકોનો સમાવેશ થતો નથી, પરંતુ ગેસ શુદ્ધતા પર પણ ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ મૂકે છે.
પ્રોજેક્ટ 909 માટે જથ્થાબંધ ગેસ પુરવઠો યુનાઇટેડ સ્ટેટ્સની પ્રેક્સએર યુટિલિટી ગેસ કંપની લિમિટેડ અને શાંઘાઈમાં સંબંધિત પક્ષો વચ્ચે સંયુક્ત રીતે ગેસ ઉત્પાદન પ્લાન્ટ સ્થાપવા માટેના સંયુક્ત સાહસ દ્વારા પ્રદાન કરવામાં આવે છે. ગેસ ઉત્પાદન પ્લાન્ટ 909 પ્રોજેક્ટ ફેક્ટરીની બાજુમાં છે. બિલ્ડિંગ, આશરે 15,000 ચોરસ મીટરના વિસ્તારને આવરી લે છે. વિવિધ વાયુઓની શુદ્ધતા અને આઉટપુટ જરૂરિયાતો

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા નાઇટ્રોજન (PN2), નાઇટ્રોજન (N2), અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) હવાના વિભાજન દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે. હાઇ-શુદ્ધતા હાઇડ્રોજન (PH2) વિદ્યુત વિચ્છેદન-વિશ્લેષણ દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે. આર્ગોન (Ar) અને હિલીયમ (He) આઉટસોર્સથી ખરીદવામાં આવે છે. પ્રોજેક્ટ 909માં ઉપયોગ માટે અર્ધ-ગેસને શુદ્ધ અને ફિલ્ટર કરવામાં આવે છે. બોટલોમાં ખાસ ગેસ પૂરો પાડવામાં આવે છે, અને ગેસ બોટલ કેબિનેટ ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ પ્રોડક્શન પ્લાન્ટની સહાયક વર્કશોપમાં સ્થિત છે.
અન્ય વાયુઓમાં સ્વચ્છ શુષ્ક સંકુચિત હવા સીડીએ સિસ્ટમનો પણ સમાવેશ થાય છે, જેનો વપરાશ વોલ્યુમ 4185m3/h, દબાણ ઝાકળ બિંદુ -70°C અને ઉપયોગના સ્થળે ગેસમાં 0.01um કરતાં વધુ કણોનું કદ ન હોય. શ્વાસ લેવાની કોમ્પ્રેસ્ડ એર (BA) સિસ્ટમ, વપરાશ વોલ્યુમ 90m3/h, દબાણ ઝાકળ બિંદુ 2℃, ઉપયોગના સ્થળે ગેસમાં કણોનું કદ 0.3um કરતા વધારે નથી, પ્રક્રિયા વેક્યૂમ (PV) સિસ્ટમ, વપરાશ વોલ્યુમ 582m3/h, ઉપયોગના સ્થળે વેક્યુમ ડિગ્રી -79993Pa . ક્લિનિંગ વેક્યુમ (HV) સિસ્ટમ, વપરાશ વોલ્યુમ 1440m3/h, ઉપયોગ બિંદુ -59995 Pa પર વેક્યુમ ડિગ્રી. એર કોમ્પ્રેસર રૂમ અને વેક્યુમ પંપ રૂમ બંને 909 પ્રોજેક્ટ ફેક્ટરી વિસ્તારમાં સ્થિત છે.

પાઇપ સામગ્રી અને એસેસરીઝની પસંદગી
VLSI ઉત્પાદનમાં વપરાતા ગેસમાં અત્યંત ઉચ્ચ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓ છે.ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સસામાન્ય રીતે સ્વચ્છ ઉત્પાદન વાતાવરણમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે, અને તેમનું સ્વચ્છતા નિયંત્રણ ઉપયોગમાં લેવાતી જગ્યાના સ્વચ્છતા સ્તર સાથે સુસંગત અથવા વધુ હોવું જોઈએ! વધુમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સનો ઉપયોગ સ્વચ્છ ઉત્પાદન વાતાવરણમાં થાય છે. શુદ્ધ હાઇડ્રોજન (PH2), ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) અને કેટલાક વિશિષ્ટ વાયુઓ જ્વલનશીલ, વિસ્ફોટક, દહન-સહાયક અથવા ઝેરી વાયુઓ છે. જો ગેસ પાઈપલાઈન સિસ્ટમ અયોગ્ય રીતે ડિઝાઇન કરવામાં આવી હોય અથવા સામગ્રી અયોગ્ય રીતે પસંદ કરવામાં આવી હોય, તો ગેસ પોઈન્ટ પર વપરાતા ગેસની શુદ્ધતામાં માત્ર ઘટાડો થશે નહીં, પરંતુ તે નિષ્ફળ પણ જશે. તે પ્રક્રિયાની આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે, પરંતુ તે વાપરવા માટે અસુરક્ષિત છે અને સ્વચ્છ ફેક્ટરીમાં પ્રદૂષણનું કારણ બનશે, સ્વચ્છ ફેક્ટરીની સલામતી અને સ્વચ્છતાને અસર કરશે.
ઉપયોગના સ્થળે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસની ગુણવત્તાની બાંયધરી માત્ર ગેસ ઉત્પાદન, શુદ્ધિકરણ સાધનો અને ફિલ્ટર્સની ચોકસાઈ પર આધારિત નથી, પરંતુ પાઇપલાઇન સિસ્ટમના ઘણા પરિબળો દ્વારા પણ મોટી હદ સુધી પ્રભાવિત થાય છે. જો આપણે ગેસ ઉત્પાદન સાધનો, શુદ્ધિકરણ સાધનો અને ફિલ્ટર્સ પર આધાર રાખીએ તો અયોગ્ય ગેસ પાઇપિંગ સિસ્ટમ ડિઝાઇન અથવા સામગ્રીની પસંદગીની ભરપાઈ કરવા માટે અસંખ્ય ઉચ્ચ ચોકસાઇ આવશ્યકતાઓ લાદવી એ ફક્ત ખોટું છે.
909 પ્રોજેક્ટની ડિઝાઇન પ્રક્રિયા દરમિયાન, અમે “કોડ ફોર ક્લીન પ્લાન્ટ્સ” GBJ73-84 (હાલનું ધોરણ (GB50073-2001) છે), “કોમ્પ્રેસ્ડ એર સ્ટેશનની ડિઝાઇન માટેનો કોડ” GBJ29-90, “કોડ”નું પાલન કર્યું ઓક્સિજન સ્ટેશનોની ડિઝાઇન માટે” GB50030-91, “હાઇડ્રોજન અને ઓક્સિજનની ડિઝાઇન માટેનો કોડ સ્ટેશન” GB50177-93, અને પાઇપલાઇન સામગ્રી અને એસેસરીઝની પસંદગી માટે સંબંધિત તકનીકી પગલાં. "સ્વચ્છ છોડની ડિઝાઇન માટે કોડ" નીચે પ્રમાણે પાઇપલાઇન સામગ્રી અને વાલ્વની પસંદગી નક્કી કરે છે:

(1) જો ગેસની શુદ્ધતા 99.999% કરતા વધારે અથવા તેની બરાબર હોય અને ઝાકળનું બિંદુ -76°C કરતા ઓછું હોય, 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (316L) ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે અથવા OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (304) સાથે ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. વાલ્વ ડાયાફ્રેમ વાલ્વ અથવા બેલોઝ વાલ્વ હોવો જોઈએ.

(2) જો ગેસની શુદ્ધતા 99.99% કરતા વધારે અથવા તેની બરાબર હોય અને ઝાકળનું બિંદુ -60°C કરતા ઓછું હોય, તો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ ટ્યુબ (304) ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે વાપરવી જોઈએ. જ્વલનશીલ ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે ઉપયોગમાં લેવાતા બેલો વાલ્વ સિવાય, અન્ય ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે બોલ વાલ્વનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

(3) જો સૂકી સંકુચિત હવાનું ઝાકળ બિંદુ -70°C કરતા ઓછું હોય, તો પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (304) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. જો ઝાકળ બિંદુ -40℃ કરતા ઓછું હોય, તો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (304) અથવા હોટ-ડીપ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સીમલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. વાલ્વ બેલોઝ વાલ્વ અથવા બોલ વાલ્વ હોવો જોઈએ.

(4) વાલ્વ સામગ્રી કનેક્ટિંગ પાઇપ સામગ્રી સાથે સુસંગત હોવી જોઈએ.

વિશિષ્ટતાઓ અને સંબંધિત તકનીકી પગલાંની આવશ્યકતાઓ અનુસાર, પાઇપલાઇન સામગ્રી પસંદ કરતી વખતે અમે મુખ્યત્વે નીચેના પાસાઓને ધ્યાનમાં લઈએ છીએ:

(1) પાઇપ સામગ્રીની હવાની અભેદ્યતા ઓછી હોવી જોઈએ. વિવિધ સામગ્રીના પાઈપોમાં હવાની અભેદ્યતા અલગ હોય છે. જો વધુ હવા અભેદ્યતા સાથે પાઈપો પસંદ કરવામાં આવે, તો પ્રદૂષણ દૂર કરી શકાતું નથી. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો અને કોપર પાઈપો વાતાવરણમાં ઓક્સિજનના પ્રવેશ અને કાટને રોકવા માટે વધુ સારી છે. જો કે, સ્ટેનલેસ સ્ટીલની પાઈપો કોપર પાઈપો કરતાં ઓછી સક્રિય હોવાથી, કોપર પાઈપો વાતાવરણમાં રહેલા ભેજને તેની આંતરિક સપાટીઓમાં પ્રવેશવા માટે વધુ સક્રિય હોય છે. તેથી, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે પાઈપો પસંદ કરતી વખતે, સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો પ્રથમ પસંદગી હોવી જોઈએ.

(2) પાઇપ સામગ્રીની આંતરિક સપાટી શોષાય છે અને ગેસના વિશ્લેષણ પર થોડી અસર કરે છે. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ પર પ્રક્રિયા કર્યા પછી, તેની ધાતુની જાળીમાં ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ જાળવી રાખવામાં આવશે. જ્યારે ઉચ્ચ શુદ્ધતાનો ગેસ પસાર થાય છે, ત્યારે ગેસનો આ ભાગ હવાના પ્રવાહમાં પ્રવેશ કરશે અને પ્રદૂષણનું કારણ બનશે. તે જ સમયે, શોષણ અને વિશ્લેષણને કારણે, પાઇપની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુ પણ ચોક્કસ માત્રામાં પાવડર ઉત્પન્ન કરશે, જે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસને પ્રદૂષિત કરશે. 99.999% અથવા ppb સ્તરથી ઉપરની શુદ્ધતા ધરાવતી પાઇપિંગ સિસ્ટમ્સ માટે, 00Cr17Ni12Mo2Ti ઓછી કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (316L) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

(3) સ્ટેનલેસ સ્ટીલની પાઈપોની વસ્ત્રો પ્રતિકાર તાંબાની પાઈપો કરતાં વધુ સારી છે અને હવાના પ્રવાહના ધોવાણથી ઉત્પન્ન થતી ધાતુની ધૂળ પ્રમાણમાં ઓછી છે. સ્વચ્છતા માટે ઉચ્ચ જરૂરિયાતો સાથે ઉત્પાદન વર્કશોપ 00Cr17Ni12Mo2Ti લો કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ્સ (316L) અથવા OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ્સ (304), કોપર પાઇપનો ઉપયોગ કરી શકશે નહીં.

(4) 99.999% અથવા ppb અથવા ppt સ્તરથી ઉપરની ગેસ શુદ્ધતાવાળી પાઇપિંગ સિસ્ટમ્સ માટે અથવા "ક્લીન ફેક્ટરી ડિઝાઇન કોડ" માં ઉલ્લેખિત N1-N6 ના હવા સ્વચ્છતા સ્તરો સાથે સ્વચ્છ રૂમમાં, અલ્ટ્રા-ક્લીન પાઈપો અથવાEP અલ્ટ્રા-ક્લીન પાઈપોઉપયોગ કરવો જોઈએ. "અતિ-સરળ આંતરિક સપાટી સાથે સ્વચ્છ ટ્યુબ" સાફ કરો.

(5) ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ઉપયોગમાં લેવાતી કેટલીક ખાસ ગેસ પાઈપલાઈન પ્રણાલીઓ અત્યંત સડો કરતા વાયુઓ છે. આ પાઈપલાઈન પ્રણાલીઓમાંના પાઈપોએ પાઈપો તરીકે કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. નહિંતર, કાટને કારણે પાઈપોને નુકસાન થશે. જો સપાટી પર કાટના ફોલ્લીઓ થાય, તો સામાન્ય સીમલેસ સ્ટીલ પાઈપો અથવા ગેલ્વેનાઈઝ્ડ વેલ્ડેડ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ નહીં.

(6) સૈદ્ધાંતિક રીતે, તમામ ગેસ પાઇપલાઇન કનેક્શન વેલ્ડિંગ હોવા જોઈએ. ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઈપોનું વેલ્ડીંગ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ લેયરને નષ્ટ કરશે, તેથી ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઈપોનો ઉપયોગ સ્વચ્છ રૂમમાં પાઈપો માટે થતો નથી.

ઉપરોક્ત પરિબળોને ધ્યાનમાં લેતા, &7& પ્રોજેક્ટમાં પસંદ કરેલ ગેસ પાઇપલાઇન પાઈપો અને વાલ્વ નીચે મુજબ છે:

હાઇ-પ્યુરિટી નાઇટ્રોજન (PN2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
નાઇટ્રોજન (N2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
હાઇ-પ્યુરિટી હાઇડ્રોજન (PH2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રો-પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
આર્ગોન (Ar) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલી હોય છે જેમાં ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો હોય છે, અને સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વનો ઉપયોગ થાય છે.
હિલીયમ (He) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
ક્લીન ડ્રાય કોમ્પ્રેસ્ડ એર (CDA) સિસ્ટમ પાઈપો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (304) માંથી પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો સાથે બનેલી છે અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
બ્રેથિંગ કોમ્પ્રેસ્ડ એર (BA) સિસ્ટમ પાઈપો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (304) ની પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બોલ વાલ્વથી બનેલા છે.
પ્રક્રિયા શૂન્યાવકાશ (PV) સિસ્ટમ પાઈપો UPVC પાઈપોથી બનેલી હોય છે, અને વાલ્વ વેક્યૂમ બટરફ્લાય વાલ્વ સમાન સામગ્રીમાંથી બનેલા હોય છે.
સફાઈ વેક્યૂમ (HV) સિસ્ટમ પાઈપો UPVC પાઈપોથી બનેલી હોય છે, અને વાલ્વ વેક્યુમ બટરફ્લાય વાલ્વ સમાન સામગ્રીમાંથી બનેલા હોય છે.
સ્પેશિયલ ગેસ સિસ્ટમના તમામ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) ની ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલોથી બનેલી છે અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.

3 પાઇપલાઇનનું બાંધકામ અને સ્થાપન
3.1 "ક્લીન ફેક્ટરી બિલ્ડીંગ ડિઝાઇન કોડ" ની કલમ 8.3 પાઇપલાઇન કનેક્શન માટે નીચેની જોગવાઈઓ નક્કી કરે છે:
(1) પાઈપ કનેક્શન વેલ્ડેડ હોવા જોઈએ, પરંતુ હોટ-ડીપ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઈપો થ્રેડેડ હોવા જોઈએ. થ્રેડેડ કનેક્શનની સીલિંગ સામગ્રી આ સ્પષ્ટીકરણની કલમ 8.3.3 ની જરૂરિયાતોનું પાલન કરશે.
(2) સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલની પાઈપો આર્ગોન આર્ક વેલ્ડીંગ અને બટ વેલ્ડીંગ અથવા સોકેટ વેલ્ડીંગ દ્વારા જોડાયેલી હોવી જોઈએ, પરંતુ ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી ગેસ પાઈપલાઈન અંદરની દિવાલ પર નિશાન વગર બટ વેલ્ડીંગ દ્વારા જોડાયેલ હોવી જોઈએ.
(3) પાઈપલાઈન અને સાધનો વચ્ચેના જોડાણને સાધનોની કનેક્શન આવશ્યકતાઓનું પાલન કરવું જોઈએ. હોસ કનેક્શનનો ઉપયોગ કરતી વખતે, મેટલ હોઝનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.
(4) પાઇપલાઇન અને વાલ્વ વચ્ચેનું જોડાણ નીચેના નિયમોનું પાલન કરે છે

① ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી ગેસ પાઇપલાઇન્સ અને વાલ્વને જોડતી સીલિંગ સામગ્રીએ ઉત્પાદન પ્રક્રિયા અને ગેસ લાક્ષણિકતાઓની જરૂરિયાતો અનુસાર મેટલ ગાસ્કેટ અથવા ડબલ ફેરુલ્સનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.
②થ્રેડેડ અથવા ફ્લેંજ કનેક્શન પર સીલિંગ સામગ્રી પોલિટેટ્રાફ્લોરોઇથિલિન હોવી જોઈએ.
3.2 સ્પષ્ટીકરણો અને સંબંધિત તકનીકી પગલાંની જરૂરિયાતો અનુસાર, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સનું જોડાણ શક્ય તેટલું વેલ્ડિંગ કરવું જોઈએ. વેલ્ડીંગ દરમિયાન ડાયરેક્ટ બટ વેલ્ડીંગ ટાળવું જોઈએ. પાઇપ સ્લીવ્ઝ અથવા તૈયાર સાંધાનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. પાઇપ સ્લીવ્ઝ સમાન સામગ્રીથી બનેલી હોવી જોઈએ અને પાઈપો જેવી આંતરિક સપાટીની સરળતા હોવી જોઈએ. સ્તર, વેલ્ડીંગ દરમિયાન, વેલ્ડીંગ ભાગના ઓક્સિડેશનને રોકવા માટે, શુદ્ધ રક્ષણાત્મક ગેસ વેલ્ડીંગ પાઇપમાં દાખલ થવો જોઈએ. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો માટે, આર્ગોન આર્ક વેલ્ડીંગનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અને સમાન શુદ્ધતાનો આર્ગોન ગેસ પાઇપમાં દાખલ કરવો જોઈએ. થ્રેડેડ કનેક્શન અથવા થ્રેડેડ કનેક્શનનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે. ફ્લેંજ્સને કનેક્ટ કરતી વખતે, થ્રેડેડ કનેક્શન્સ માટે ફેરુલ્સનો ઉપયોગ થવો જોઈએ. ઓક્સિજન પાઈપો અને હાઈડ્રોજન પાઈપો સિવાય, જેમાં મેટલ ગાસ્કેટનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અન્ય પાઈપોએ પોલિટેટ્રાફ્લોરોઈથિલિન ગાસ્કેટનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. ગાસ્કેટ પર સિલિકોન રબરની થોડી માત્રા લાગુ કરવી પણ અસરકારક રહેશે. સીલિંગ અસર વધારવી. જ્યારે ફ્લેંજ જોડાણો બનાવવામાં આવે ત્યારે સમાન પગલાં લેવા જોઈએ.
ઇન્સ્ટોલેશન કાર્ય શરૂ થાય તે પહેલાં, પાઈપોનું વિગતવાર દ્રશ્ય નિરીક્ષણ,ફિટિંગ, વાલ્વ વગેરે હાથ ધરવા જ જોઈએ. સામાન્ય સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોની આંતરિક દિવાલ ઇન્સ્ટોલેશન પહેલાં અથાણું હોવી જોઈએ. ઓક્સિજન પાઈપલાઈનનાં પાઈપો, ફીટીંગ્સ, વાલ્વ વગેરેને ઓઈલથી સખત પ્રતિબંધિત હોવા જોઈએ અને ઈન્સ્ટોલેશન પહેલા સંબંધિત જરૂરિયાતો અનુસાર સખત રીતે ડીગ્રેઝ કરવું જોઈએ.
સિસ્ટમ ઇન્સ્ટોલ કરવામાં આવે અને ઉપયોગમાં લેવામાં આવે તે પહેલાં, ટ્રાન્સમિશન અને ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પાઇપલાઇન સિસ્ટમને ડિલિવરી કરાયેલ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસથી સંપૂર્ણપણે સાફ કરવી જોઈએ. આ માત્ર ધૂળના કણોને દૂર કરે છે જે ઇન્સ્ટોલેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન આકસ્મિક રીતે સિસ્ટમમાં પડ્યા હતા, પરંતુ પાઇપલાઇન સિસ્ટમમાં સૂકવવાની ભૂમિકા પણ ભજવે છે, પાઇપ દિવાલ દ્વારા શોષાયેલ ભેજ ધરાવતા ગેસનો ભાગ અને પાઇપ સામગ્રીને પણ દૂર કરે છે.

4. પાઇપલાઇન દબાણ પરીક્ષણ અને સ્વીકૃતિ
(1) સિસ્ટમ ઇન્સ્ટોલ થઈ ગયા પછી, ખાસ ગેસ પાઈપલાઈનમાં અત્યંત ઝેરી પ્રવાહીનું પરિવહન કરતી પાઈપોનું 100% રેડિયોગ્રાફિક નિરીક્ષણ હાથ ધરવામાં આવશે, અને તેમની ગુણવત્તા સ્તર II કરતાં ઓછી હોવી જોઈએ નહીં. અન્ય પાઈપો સેમ્પલિંગ રેડિયોગ્રાફિક ઈન્સ્પેક્શનને આધીન રહેશે, અને સેમ્પલિંગ ઈન્સ્પેક્શન રેશિયો 5% કરતા ઓછો ન હોવો જોઈએ, ગુણવત્તા ગ્રેડ III કરતા ઓછી હોવી જોઈએ નહીં.
(2) બિન-વિનાશક નિરીક્ષણ પાસ કર્યા પછી, દબાણ પરીક્ષણ હાથ ધરવામાં આવવું જોઈએ. પાઇપિંગ સિસ્ટમની શુષ્કતા અને સ્વચ્છતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, હાઇડ્રોલિક દબાણ પરીક્ષણ હાથ ધરવામાં આવવું જોઈએ નહીં, પરંતુ વાયુયુક્ત દબાણ પરીક્ષણનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. હવાનું દબાણ પરીક્ષણ નાઇટ્રોજન અથવા સંકુચિત હવાનો ઉપયોગ કરીને હાથ ધરવામાં આવવું જોઈએ જે સ્વચ્છ ઓરડાના સ્વચ્છતા સ્તર સાથે મેળ ખાય છે. પાઇપલાઇનનું પરીક્ષણ દબાણ ડિઝાઇન દબાણ કરતાં 1.15 ગણું હોવું જોઈએ, અને વેક્યૂમ પાઇપલાઇનનું પરીક્ષણ દબાણ 0.2MPa હોવું જોઈએ. પરીક્ષણ દરમિયાન, દબાણ ધીમે ધીમે અને ધીમે ધીમે વધારવું જોઈએ. જ્યારે દબાણ પરીક્ષણ દબાણના 50% સુધી વધે છે, જો કોઈ અસાધારણતા અથવા લિકેજ જોવા મળતું નથી, ત્યારે પરીક્ષણ દબાણના 10% દ્વારા દબાણને તબક્કાવાર વધારવાનું ચાલુ રાખો, અને પરીક્ષણ દબાણ થાય ત્યાં સુધી દરેક સ્તરે 3 મિનિટ માટે દબાણને સ્થિર કરો. . દબાણને 10 મિનિટ માટે સ્થિર કરો, પછી દબાણને ડિઝાઇન દબાણમાં ઘટાડો. દબાણ બંધ થવાનો સમય લીક શોધની જરૂરિયાતો અનુસાર નક્કી કરવો જોઈએ. જો ત્યાં કોઈ લિકેજ ન હોય તો ફોમિંગ એજન્ટ લાયક છે.
(3) વેક્યૂમ સિસ્ટમ પ્રેશર ટેસ્ટ પાસ કરે તે પછી, તેણે ડિઝાઇન દસ્તાવેજો અનુસાર 24-કલાકની વેક્યૂમ ડિગ્રી ટેસ્ટ પણ કરાવવી જોઈએ, અને દબાણ દર 5% કરતા વધારે ન હોવો જોઈએ.
(4) લીકેજ ટેસ્ટ. ppb અને ppt ગ્રેડ પાઈપલાઈન સિસ્ટમ્સ માટે, સંબંધિત વિશિષ્ટતાઓ અનુસાર, કોઈ પણ લિકેજને લાયક ગણવા જોઈએ નહીં, પરંતુ લિકેજ રકમ પરીક્ષણનો ઉપયોગ ડિઝાઇન દરમિયાન કરવામાં આવે છે, એટલે કે, લિકેજ રકમ પરીક્ષણ એર ટાઈટનેસ ટેસ્ટ પછી કરવામાં આવે છે. દબાણ એ કામનું દબાણ છે, અને દબાણ 24 કલાક માટે બંધ છે. સરેરાશ કલાકદીઠ લિકેજ ક્વોલિફાઇડ તરીકે 50ppm કરતાં ઓછું અથવા બરાબર છે. લિકેજની ગણતરી નીચે મુજબ છે:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
સૂત્રમાં:
A-કલાક લીકેજ (%)
P1-પરીક્ષણની શરૂઆતમાં સંપૂર્ણ દબાણ (Pa)
P2-પરીક્ષણના અંતે સંપૂર્ણ દબાણ (Pa)
T1-પરીક્ષણની શરૂઆતમાં સંપૂર્ણ તાપમાન (K)
T2-પરીક્ષણના અંતે સંપૂર્ણ તાપમાન (K)