ઇલેક્ટ્રોનિક એન્જિનિયરિંગ સિસ્ટમ્સમાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સનો ઉપયોગ

909 પ્રોજેક્ટ ખૂબ જ મોટા પાયે ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ ફેક્ટરી એ નવમી પંચવર્ષીય યોજના દરમિયાન મારા દેશના ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગનો એક મુખ્ય બાંધકામ પ્રોજેક્ટ છે જેનો હેતુ 0.18 માઇક્રોનની લાઇન પહોળાઈ અને 200 મીમી વ્યાસ ધરાવતી ચિપ્સનું ઉત્પાદન કરવાનો છે.

ખૂબ મોટા પાયે સંકલિત સર્કિટની ઉત્પાદન તકનીકમાં માત્ર માઇક્રો-મશીનિંગ જેવી ઉચ્ચ-ચોકસાઇ તકનીકોનો સમાવેશ થતો નથી, પરંતુ ગેસ શુદ્ધતા પર ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ પણ મૂકે છે.
પ્રોજેક્ટ 909 માટે જથ્થાબંધ ગેસ પુરવઠો યુનાઇટેડ સ્ટેટ્સની પ્રેક્સેર યુટિલિટી ગેસ કંપની લિમિટેડ અને શાંઘાઈમાં સંબંધિત પક્ષો વચ્ચે સંયુક્ત રીતે ગેસ ઉત્પાદન પ્લાન્ટ સ્થાપિત કરવા માટે સંયુક્ત સાહસ દ્વારા પૂરો પાડવામાં આવે છે. ગેસ ઉત્પાદન પ્લાન્ટ 909 પ્રોજેક્ટ ફેક્ટરી બિલ્ડિંગની બાજુમાં છે, જે આશરે 15,000 ચોરસ મીટરના વિસ્તારને આવરી લે છે. વિવિધ વાયુઓની શુદ્ધતા અને આઉટપુટ આવશ્યકતાઓ

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા નાઇટ્રોજન (PN2), નાઇટ્રોજન (N2), અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) હવાના વિભાજન દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા હાઇડ્રોજન (PH2) વિદ્યુત વિચ્છેદન-વિશ્લેષણ દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે. આર્ગોન (Ar) અને હિલીયમ (He) આઉટસોર્સ દ્વારા ખરીદવામાં આવે છે. પ્રોજેક્ટ 909 માં ઉપયોગ માટે ક્વાસી-ગેસ શુદ્ધ અને ફિલ્ટર કરવામાં આવે છે. ખાસ ગેસ બોટલોમાં પૂરો પાડવામાં આવે છે, અને ગેસ બોટલ કેબિનેટ ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ ઉત્પાદન પ્લાન્ટના સહાયક વર્કશોપમાં સ્થિત છે.
અન્ય વાયુઓમાં સ્વચ્છ સૂકી સંકુચિત હવા CDA સિસ્ટમનો પણ સમાવેશ થાય છે, જેનો ઉપયોગ જથ્થો 4185m3/h, દબાણ ઝાકળ બિંદુ -70°C, અને ઉપયોગના સ્થળે ગેસમાં કણોનું કદ 0.01um કરતા વધુ ન હોય. શ્વાસ લેવાની સંકુચિત હવા (BA) સિસ્ટમ, ઉપયોગ જથ્થો 90m3/h, દબાણ ઝાકળ બિંદુ 2℃, ઉપયોગના સ્થળે ગેસમાં કણોનું કદ 0.3um કરતા વધુ ન હોય, પ્રક્રિયા વેક્યુમ (PV) સિસ્ટમ, ઉપયોગ જથ્થો 582m3/h, ઉપયોગના સ્થળે વેક્યુમ ડિગ્રી -79993Pa. સફાઈ વેક્યુમ (HV) સિસ્ટમ, ઉપયોગ જથ્થો 1440m3/h, ઉપયોગ બિંદુ -59995 Pa પર વેક્યુમ ડિગ્રી. એર કોમ્પ્રેસર રૂમ અને વેક્યુમ પંપ રૂમ બંને 909 પ્રોજેક્ટ ફેક્ટરી વિસ્તારમાં સ્થિત છે.

પાઇપ સામગ્રી અને એસેસરીઝની પસંદગી
VLSI ઉત્પાદનમાં વપરાતા ગેસની સ્વચ્છતા માટે અત્યંત ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ છે.ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળી ગેસ પાઇપલાઇન્સસામાન્ય રીતે સ્વચ્છ ઉત્પાદન વાતાવરણમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે, અને તેમનું સ્વચ્છતા નિયંત્રણ ઉપયોગમાં લેવાતી જગ્યાના સ્વચ્છતા સ્તર સાથે સુસંગત અથવા તેનાથી વધુ હોવું જોઈએ! વધુમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇનનો ઉપયોગ ઘણીવાર સ્વચ્છ ઉત્પાદન વાતાવરણમાં થાય છે. શુદ્ધ હાઇડ્રોજન (PH2), ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) અને કેટલાક ખાસ વાયુઓ જ્વલનશીલ, વિસ્ફોટક, દહન-સહાયક અથવા ઝેરી વાયુઓ છે. જો ગેસ પાઇપલાઇન સિસ્ટમ અયોગ્ય રીતે ડિઝાઇન કરવામાં આવી હોય અથવા સામગ્રી અયોગ્ય રીતે પસંદ કરવામાં આવી હોય, તો ગેસ પોઇન્ટ પર વપરાતા ગેસની શુદ્ધતામાં ઘટાડો થશે, પરંતુ તે નિષ્ફળ પણ જશે. તે પ્રક્રિયાની આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે, પરંતુ તેનો ઉપયોગ કરવા માટે અસુરક્ષિત છે અને સ્વચ્છ ફેક્ટરીમાં પ્રદૂષણ ફેલાવશે, જે સ્વચ્છ ફેક્ટરીની સલામતી અને સ્વચ્છતાને અસર કરશે.
ઉપયોગના સ્થળે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગેસની ગુણવત્તાની ગેરંટી માત્ર ગેસ ઉત્પાદન, શુદ્ધિકરણ સાધનો અને ફિલ્ટર્સની ચોકસાઈ પર આધારિત નથી, પરંતુ પાઇપલાઇન સિસ્ટમમાં ઘણા પરિબળો દ્વારા પણ મોટા પ્રમાણમાં પ્રભાવિત થાય છે. જો આપણે ગેસ ઉત્પાદન સાધનો, શુદ્ધિકરણ સાધનો અને ફિલ્ટર્સ પર આધાર રાખીએ તો અયોગ્ય ગેસ પાઇપિંગ સિસ્ટમ ડિઝાઇન અથવા સામગ્રી પસંદગી માટે વળતર આપવા માટે અનંત ઉચ્ચ ચોકસાઇ આવશ્યકતાઓ લાદવી ખોટી છે.
909 પ્રોજેક્ટની ડિઝાઇન પ્રક્રિયા દરમિયાન, અમે "સ્વચ્છ છોડની ડિઝાઇન માટેનો કોડ" GBJ73-84 (હાલનું ધોરણ (GB50073-2001) છે), "સંકુચિત હવા સ્ટેશનોની ડિઝાઇન માટેનો કોડ" GBJ29-90, "ઓક્સિજન સ્ટેશનોની ડિઝાઇન માટેનો કોડ" GB50030-91, "હાઇડ્રોજન અને ઓક્સિજન સ્ટેશનોની ડિઝાઇન માટેનો કોડ" GB50177-93, અને પાઇપલાઇન સામગ્રી અને એસેસરીઝની પસંદગી માટે સંબંધિત તકનીકી પગલાંનું પાલન કર્યું. "સ્વચ્છ છોડની ડિઝાઇન માટેનો કોડ" પાઇપલાઇન સામગ્રી અને વાલ્વની પસંદગી નીચે મુજબ નક્કી કરે છે:

(૧) જો ગેસ શુદ્ધતા ૯૯.૯૯૯% કરતા વધારે અથવા તેના બરાબર હોય અને ઝાકળ બિંદુ -૭૬°C કરતા ઓછું હોય, તો ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે ૦૦Cr૧૭Ni૧૨Mo૨Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (૩૧૬L) અથવા ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે OCr૧૮Ni૯ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (૩૦૪) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. વાલ્વ ડાયાફ્રેમ વાલ્વ અથવા બેલો વાલ્વ હોવો જોઈએ.

(2) જો ગેસ શુદ્ધતા 99.99% કરતા વધારે અથવા તેના બરાબર હોય અને ઝાકળ બિંદુ -60°C કરતા ઓછું હોય, તો ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ ટ્યુબ (304) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. જ્વલનશીલ ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે ઉપયોગમાં લેવાતા બેલો વાલ્વ સિવાય, અન્ય ગેસ પાઇપલાઇન્સ માટે બોલ વાલ્વનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

(૩) જો સૂકી સંકુચિત હવાનું ઝાકળ બિંદુ -૭૦°C કરતા ઓછું હોય, તો પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલ સાથે OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (૩૦૪) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. જો ઝાકળ બિંદુ -૪૦°C કરતા ઓછું હોય, તો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (૩૦૪) અથવા હોટ-ડિપ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સીમલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. વાલ્વ બેલોઝ વાલ્વ અથવા બોલ વાલ્વ હોવો જોઈએ.

(૪) વાલ્વ સામગ્રી કનેક્ટિંગ પાઇપ સામગ્રી સાથે સુસંગત હોવી જોઈએ.

સ્પષ્ટીકરણો અને સંબંધિત તકનીકી પગલાંની જરૂરિયાતો અનુસાર, પાઇપલાઇન સામગ્રી પસંદ કરતી વખતે અમે મુખ્યત્વે નીચેના પાસાઓ ધ્યાનમાં લઈએ છીએ:

(૧) પાઇપ સામગ્રીની હવા અભેદ્યતા નાની હોવી જોઈએ. વિવિધ સામગ્રીના પાઇપમાં હવા અભેદ્યતા અલગ અલગ હોય છે. જો વધુ હવા અભેદ્યતાવાળા પાઇપ પસંદ કરવામાં આવે, તો પ્રદૂષણ દૂર કરી શકાતું નથી. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ અને કોપર પાઇપ વાતાવરણમાં ઓક્સિજનના પ્રવેશ અને કાટને રોકવામાં વધુ સારી રીતે મદદ કરે છે. જો કે, સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ કોપર પાઇપ કરતા ઓછા સક્રિય હોવાથી, કોપર પાઇપ વાતાવરણમાં ભેજને તેમની આંતરિક સપાટીમાં પ્રવેશવા દેવામાં વધુ સક્રિય હોય છે. તેથી, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન માટે પાઇપ પસંદ કરતી વખતે, સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ પ્રથમ પસંદગી હોવી જોઈએ.

(2) પાઇપ સામગ્રીની આંતરિક સપાટી શોષાય છે અને ગેસના વિશ્લેષણ પર થોડી અસર કરે છે. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ પ્રક્રિયા કર્યા પછી, તેની ધાતુની જાળીમાં ચોક્કસ માત્રામાં ગેસ જળવાઈ રહેશે. જ્યારે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પસાર થાય છે, ત્યારે ગેસનો આ ભાગ હવાના પ્રવાહમાં પ્રવેશ કરશે અને પ્રદૂષણનું કારણ બનશે. તે જ સમયે, શોષણ અને વિશ્લેષણને કારણે, પાઇપની આંતરિક સપાટી પરની ધાતુ પણ ચોક્કસ માત્રામાં પાવડર ઉત્પન્ન કરશે, જે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસને પ્રદૂષિત કરશે. 99.999% અથવા ppb સ્તરથી ઉપરની શુદ્ધતા ધરાવતી પાઇપિંગ સિસ્ટમ્સ માટે, 00Cr17Ni12Mo2Ti લો કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ (316L) નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

(૩) સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોનો વસ્ત્રો પ્રતિકાર કોપર પાઈપો કરતા વધુ સારો છે, અને હવાના પ્રવાહના ધોવાણથી ઉત્પન્ન થતી ધાતુની ધૂળ પ્રમાણમાં ઓછી છે. સ્વચ્છતા માટે ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ ધરાવતી ઉત્પાદન વર્કશોપ 00Cr17Ni12Mo2Ti લો કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) અથવા OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (304) નો ઉપયોગ કરી શકે છે, કોપર પાઈપોનો ઉપયોગ કરવામાં આવશે નહીં.

(૪) ૯૯.૯૯૯% થી વધુ ગેસ શુદ્ધતા અથવા ppb અથવા ppt સ્તર ધરાવતી પાઇપિંગ સિસ્ટમ્સ માટે, અથવા "ક્લીન ફેક્ટરી ડિઝાઇન કોડ" માં ઉલ્લેખિત N1-N6 ના હવા સ્વચ્છતા સ્તરવાળા સ્વચ્છ રૂમમાં, અલ્ટ્રા-ક્લીન પાઇપ્સ અથવાEP અલ્ટ્રા-ક્લીન પાઈપો"અતિ-સરળ આંતરિક સપાટી સાથે સ્વચ્છ ટ્યુબ" સાફ કરો.

(૫) ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ઉપયોગમાં લેવાતી કેટલીક ખાસ ગેસ પાઇપલાઇન સિસ્ટમો ખૂબ જ કાટ લાગતી વાયુઓ હોય છે. આ પાઇપલાઇન સિસ્ટમોમાં પાઇપમાં કાટ-પ્રતિરોધક સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે. નહિંતર, કાટને કારણે પાઇપને નુકસાન થશે. જો સપાટી પર કાટના ડાઘ દેખાય, તો સામાન્ય સીમલેસ સ્ટીલ પાઇપ અથવા ગેલ્વેનાઈઝ્ડ વેલ્ડેડ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ કરવામાં આવશે નહીં.

(૬) સૈદ્ધાંતિક રીતે, બધા ગેસ પાઇપલાઇન કનેક્શન વેલ્ડિંગ હોવા જોઈએ. ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઇપનું વેલ્ડિંગ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્તરનો નાશ કરશે, તેથી સ્વચ્છ રૂમમાં પાઇપ માટે ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઇપનો ઉપયોગ થતો નથી.

ઉપરોક્ત પરિબળોને ધ્યાનમાં લેતા, &7& પ્રોજેક્ટમાં પસંદ કરાયેલ ગેસ પાઇપલાઇન પાઇપ અને વાલ્વ નીચે મુજબ છે:

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા નાઇટ્રોજન (PN2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
નાઇટ્રોજન (N2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા હાઇડ્રોજન (PH2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સિજન (PO2) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં ઇલેક્ટ્રો-પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
આર્ગોન (Ar) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા હોય છે જેમાં આંતરિક દિવાલો ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ હોય છે, અને તે જ સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વનો ઉપયોગ થાય છે.
હિલીયમ (He) સિસ્ટમ પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં આંતરિક દિવાલો ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
ક્લીન ડ્રાય કોમ્પ્રેસ્ડ એર (CDA) સિસ્ટમ પાઈપો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (304) થી બનેલા છે જેમાં પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.
શ્વાસ લેવાની સંકુચિત હવા (BA) સિસ્ટમ પાઈપો OCr18Ni9 સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (304) થી બનેલા છે જેમાં પોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બોલ વાલ્વથી બનેલા છે.
પ્રોસેસ વેક્યુમ (PV) સિસ્ટમ પાઈપો UPVC પાઈપોથી બનેલા હોય છે, અને વાલ્વ એ જ સામગ્રીથી બનેલા વેક્યુમ બટરફ્લાય વાલ્વથી બનેલા હોય છે.
સફાઈ વેક્યુમ (HV) સિસ્ટમ પાઈપો UPVC પાઈપોથી બનેલા હોય છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીથી બનેલા વેક્યુમ બટરફ્લાય વાલ્વથી બનેલા હોય છે.
ખાસ ગેસ સિસ્ટમના બધા પાઈપો 00Cr17Ni12Mo2Ti લો-કાર્બન સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો (316L) થી બનેલા છે જેમાં ઇલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ આંતરિક દિવાલો છે, અને વાલ્વ સમાન સામગ્રીના સ્ટેનલેસ સ્ટીલ બેલો વાલ્વથી બનેલા છે.

૩ પાઇપલાઇનનું બાંધકામ અને સ્થાપન
૩.૧ “ક્લીન ફેક્ટરી બિલ્ડીંગ ડિઝાઇન કોડ” ની કલમ ૮.૩ પાઇપલાઇન કનેક્શન માટે નીચેની જોગવાઈઓ નક્કી કરે છે:
(૧) પાઇપ કનેક્શન વેલ્ડેડ હોવા જોઈએ, પરંતુ હોટ-ડિપ ગેલ્વેનાઈઝ્ડ સ્ટીલ પાઇપ થ્રેડેડ હોવા જોઈએ. થ્રેડેડ કનેક્શનની સીલિંગ સામગ્રી આ સ્પષ્ટીકરણની કલમ ૮.૩.૩ ની આવશ્યકતાઓનું પાલન કરશે.
(૨) સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપો આર્ગોન આર્ક વેલ્ડીંગ અને બટ વેલ્ડીંગ અથવા સોકેટ વેલ્ડીંગ દ્વારા જોડાયેલ હોવા જોઈએ, પરંતુ ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળી ગેસ પાઈપો આંતરિક દિવાલ પર નિશાન વિના બટ વેલ્ડીંગ દ્વારા જોડાયેલ હોવી જોઈએ.
(૩) પાઇપલાઇન અને સાધનો વચ્ચેનું જોડાણ સાધનોની કનેક્શન આવશ્યકતાઓનું પાલન કરતું હોવું જોઈએ. નળી જોડાણનો ઉપયોગ કરતી વખતે, ધાતુના નળીઓનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.
(૪) પાઇપલાઇન અને વાલ્વ વચ્ચેનું જોડાણ નીચેના નિયમોનું પાલન કરતું હોવું જોઈએ

① ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળી ગેસ પાઇપલાઇન્સ અને વાલ્વને જોડતી સીલિંગ સામગ્રીમાં ઉત્પાદન પ્રક્રિયા અને ગેસ લાક્ષણિકતાઓની જરૂરિયાતો અનુસાર મેટલ ગાસ્કેટ અથવા ડબલ ફેરુલ્સનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.
②થ્રેડેડ અથવા ફ્લેંજ કનેક્શન પર સીલિંગ સામગ્રી પોલીટેટ્રાફ્લોરોઇથિલિન હોવી જોઈએ.
૩.૨ સ્પષ્ટીકરણો અને સંબંધિત તકનીકી પગલાંની જરૂરિયાતો અનુસાર, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસ પાઇપલાઇન્સના જોડાણને શક્ય તેટલું વેલ્ડિંગ કરવું જોઈએ. વેલ્ડીંગ દરમિયાન ડાયરેક્ટ બટ વેલ્ડીંગ ટાળવું જોઈએ. પાઇપ સ્લીવ્ઝ અથવા ફિનિશ્ડ સાંધાનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. પાઇપ સ્લીવ્ઝ પાઇપ જેવી જ સામગ્રી અને આંતરિક સપાટીની સરળતાથી બનેલા હોવા જોઈએ. વેલ્ડીંગ દરમિયાન, વેલ્ડીંગ ભાગના ઓક્સિડેશનને રોકવા માટે, શુદ્ધ રક્ષણાત્મક ગેસ વેલ્ડીંગ પાઇપમાં દાખલ કરવો જોઈએ. સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઇપ માટે, આર્ગોન આર્ક વેલ્ડીંગનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અને સમાન શુદ્ધતાનો આર્ગોન ગેસ પાઇપમાં દાખલ કરવો જોઈએ. થ્રેડેડ કનેક્શન અથવા થ્રેડેડ કનેક્શનનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. ફ્લેંજ્સને જોડતી વખતે, થ્રેડેડ કનેક્શન માટે ફેરુલ્સનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. ઓક્સિજન પાઇપ અને હાઇડ્રોજન પાઇપ સિવાય, જેમાં મેટલ ગાસ્કેટનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ, અન્ય પાઇપોએ પોલીટેટ્રાફ્લોરોઇથિલિન ગાસ્કેટનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. ગાસ્કેટમાં થોડી માત્રામાં સિલિકોન રબર લગાવવાથી પણ અસરકારક રહેશે. સીલિંગ અસરમાં વધારો. ફ્લેંજ કનેક્શન બનાવવામાં આવે ત્યારે સમાન પગલાં લેવા જોઈએ.
સ્થાપન કાર્ય શરૂ થાય તે પહેલાં, પાઈપોનું વિગતવાર દ્રશ્ય નિરીક્ષણ,ફિટિંગ, વાલ્વ વગેરે હાથ ધરવા આવશ્યક છે. સામાન્ય સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પાઈપોની અંદરની દિવાલ ઇન્સ્ટોલેશન પહેલાં અથાણું કરવી જોઈએ. ઓક્સિજન પાઈપોના પાઈપો, ફિટિંગ, વાલ્વ વગેરેમાં તેલનો ઉપયોગ સખત રીતે પ્રતિબંધિત હોવો જોઈએ, અને ઇન્સ્ટોલેશન પહેલાં સંબંધિત જરૂરિયાતો અનુસાર તેને સખત રીતે ડીગ્રેઝ કરવું જોઈએ.
સિસ્ટમ ઇન્સ્ટોલ થાય અને ઉપયોગમાં લેવાય તે પહેલાં, ટ્રાન્સમિશન અને ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પાઇપલાઇન સિસ્ટમને ડિલિવર કરાયેલ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગેસથી સંપૂર્ણપણે શુદ્ધ કરવી જોઈએ. આ ફક્ત ઇન્સ્ટોલેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન આકસ્મિક રીતે સિસ્ટમમાં પડેલા ધૂળના કણોને જ ઉડાવી દેતું નથી, પરંતુ પાઇપલાઇન સિસ્ટમમાં સૂકવણીની ભૂમિકા પણ ભજવે છે, પાઇપ દિવાલ દ્વારા શોષાયેલા ભેજવાળા ગેસનો એક ભાગ અને પાઇપ સામગ્રીને પણ દૂર કરે છે.

૪. પાઇપલાઇન દબાણ પરીક્ષણ અને સ્વીકૃતિ
(૧) સિસ્ટમ ઇન્સ્ટોલ થયા પછી, ખાસ ગેસ પાઇપલાઇનમાં અત્યંત ઝેરી પ્રવાહીનું પરિવહન કરતી પાઈપોનું ૧૦૦% રેડિયોગ્રાફિક નિરીક્ષણ કરવામાં આવશે, અને તેમની ગુણવત્તા સ્તર II કરતા ઓછી ન હોવી જોઈએ. અન્ય પાઈપો નમૂના રેડિયોગ્રાફિક નિરીક્ષણને આધીન રહેશે, અને નમૂના નિરીક્ષણ ગુણોત્તર 5% કરતા ઓછો ન હોવો જોઈએ, ગુણવત્તા ગ્રેડ III કરતા ઓછી ન હોવી જોઈએ.
(2) બિન-વિનાશક નિરીક્ષણ પાસ કર્યા પછી, દબાણ પરીક્ષણ હાથ ધરવું જોઈએ. પાઇપિંગ સિસ્ટમની શુષ્કતા અને સ્વચ્છતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે, હાઇડ્રોલિક દબાણ પરીક્ષણ હાથ ધરવું જોઈએ નહીં, પરંતુ વાયુયુક્ત દબાણ પરીક્ષણનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ. સ્વચ્છ રૂમના સ્વચ્છતા સ્તર સાથે મેળ ખાતી નાઇટ્રોજન અથવા સંકુચિત હવાનો ઉપયોગ કરીને હવા દબાણ પરીક્ષણ હાથ ધરવું જોઈએ. પાઇપલાઇનનું પરીક્ષણ દબાણ ડિઝાઇન દબાણ કરતાં 1.15 ગણું હોવું જોઈએ, અને વેક્યુમ પાઇપલાઇનનું પરીક્ષણ દબાણ 0.2MPa હોવું જોઈએ. પરીક્ષણ દરમિયાન, દબાણ ધીમે ધીમે અને ધીમે ધીમે વધારવું જોઈએ. જ્યારે દબાણ પરીક્ષણ દબાણના 50% સુધી વધે છે, જો કોઈ અસામાન્યતા અથવા લિકેજ જોવા ન મળે, તો પરીક્ષણ દબાણના 10% દ્વારા દબાણમાં પગલું દ્વારા પગલું વધારો કરવાનું ચાલુ રાખો, અને પરીક્ષણ દબાણ સુધી દરેક સ્તરે 3 મિનિટ માટે દબાણ સ્થિર કરો. 10 મિનિટ માટે દબાણ સ્થિર કરો, પછી દબાણને ડિઝાઇન દબાણ સુધી ઘટાડો. દબાણ બંધ કરવાનો સમય લીક શોધની જરૂરિયાતો અનુસાર નક્કી કરવો જોઈએ. જો કોઈ લિકેજ ન હોય તો ફોમિંગ એજન્ટ લાયક છે.
(૩) વેક્યુમ સિસ્ટમ પ્રેશર ટેસ્ટ પાસ કર્યા પછી, તેણે ડિઝાઇન દસ્તાવેજો અનુસાર 24-કલાક વેક્યુમ ડિગ્રી ટેસ્ટ પણ કરાવવો જોઈએ, અને પ્રેશરાઇઝેશન રેટ 5% થી વધુ ન હોવો જોઈએ.
(૪) લીકેજ ટેસ્ટ. પીપીબી અને પીપીટી ગ્રેડ પાઇપલાઇન સિસ્ટમ્સ માટે, સંબંધિત સ્પષ્ટીકરણો અનુસાર, કોઈપણ લીકેજને લાયક ગણવામાં આવવું જોઈએ નહીં, પરંતુ ડિઝાઇન દરમિયાન લીકેજ રકમ પરીક્ષણનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, એટલે કે, લીકેજ રકમ પરીક્ષણ એર ટાઈટનેસ ટેસ્ટ પછી કરવામાં આવે છે. દબાણ એ કાર્યકારી દબાણ છે, અને દબાણ 24 કલાક માટે બંધ કરવામાં આવે છે. સરેરાશ કલાકદીઠ લીકેજ લાયક તરીકે 50ppm કરતા ઓછું અથવા બરાબર છે. લીકેજની ગણતરી નીચે મુજબ છે:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/ટી
સૂત્રમાં:
કલાક દીઠ લિકેજ (%)
P1 - પરીક્ષણની શરૂઆતમાં સંપૂર્ણ દબાણ (Pa)
P2 - પરીક્ષણના અંતે સંપૂર્ણ દબાણ (Pa)
પરીક્ષણની શરૂઆતમાં T1-નિરપેક્ષ તાપમાન (K)
પરીક્ષણના અંતે T2-નિરપેક્ષ તાપમાન (K)